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一种指纹识别模组及其形成方法，指纹识别模组的形成方法包括：提供具有信号处理电路的衬底；在衬底上形成分立的牺牲层；形成平坦层，平坦层覆盖牺牲层以及牺牲层露出的衬底；在平坦层上形成压电换能器，压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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