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一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备，制造方法包括：提供衬底，衬底中形成有信号处理电路；在衬底上形成第一氧化层；提供承载基底；在承载基底上形成压电换能器，压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极；在压电换...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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