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防反射膜及其在基片上的形成方法技术
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文档序号:2679125
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一种包括防反射复合材料、基片和沉积在基片上的无机物层的制品。该无机物层的厚度约为1nm-10nm。该制品包括与所述无机物层接触形成防反射复合材料外表面的聚合物层。该聚合物层的厚度约为70nm-120nm。...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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