下载光学制版用的氟化物晶体透镜的坯体的技术资料

文档序号:2679124

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本发明提供一种高质量可识别的氟化物晶体光学微制版透镜的坯体,它用于形成微制版系统的透镜元件。该氟化物光学制版透镜坯体的高质量氟化物晶体特征可保证在采用高能短波长紫外线激光源的微制版制造过程中具有有利的性能。该光学制版用的氟化物晶体透镜坯体包...
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