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本发明提供了一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法，在该方法中，光源发出的光从物方光栅到像方光栅的过程中采用严格的光刻矢量模型进行计算，同时可以适用于任意形状的物方、像方光栅；并且光从像方光栅到接收屏的过程中采用严格的Rayleigh...该专利属于东方晶源微电子科技(北京)有限公司深圳分公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技(北京)有限公司深圳分公司授权不得商用。