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文档序号:26772451

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本发明描述了一种肖特基势垒薄膜晶体管。这种肖特基势垒薄膜晶体管包含了在氧化物半导体上的肖特基源极接触电极。这种肖特基势垒薄膜晶体管拥有至少500的本征增益。本发明还描述了一种在氧化物半导体沟道上形成肖特基源极接触电极的肖特基势垒薄膜晶体管制...
该专利属于曼彻斯特大学所有,仅供学习研究参考,未经过曼彻斯特大学授权不得商用。

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