下载衬底处理方法、衬底处理装置及电脑程序的技术资料

文档序号:26772421

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本发明根据区间最终使用时刻,从多个处理区间中选择1个处理区间。区间最终使用时刻是属于相同处理区间的多个处理单元的单元最终使用时刻或修正单元最终使用时刻中最早的时刻。修正单元最终使用时刻是从单元最终使用时刻减去搬送时间而得的时刻。而且,从属于...
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