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一种微机电式法布里－珀罗装置制造方法，其特征在于：其能精确定位二平行构件以符合一所需间距，该制造方法包含如下步骤：　　　　提供二基材；　　　　于该二基材表面的预定区域形成沉积物；　　　　利用一膜厚监控器控制该沉积物的厚度；及　　　　结合该沉...
该专利属于台达电子工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台达电子工业股份有限公司授权不得商用。

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