微机电式法布里-珀罗装置制造方法制造方法及图纸

一种微机电式法布里－珀罗装置制造方法，其特征在于：其能精确定位二平行构件以符合一所需间距，该制造方法包含如下步骤：　　　　提供二基材；　　　　于该二基材表面的预定区域形成沉积物；　　　　利用一膜厚监控器控制该沉积物的厚度；及　　　　结合该沉积物间隔该二基材；其中　　　　该二基材间的该沉积物厚度与该所需间距相等。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电式法布里-珀罗装置(MEMS Fabry-PerotDevice)制造方法，尤其涉及一种能精确定位法布里-珀罗装置的二平行构件的。
技术介绍
法布里-珀罗装置因可滤出多个特定频率的波长，故通常应用于如可调式滤波器(Tunable Filter)、波长锁定器(Wavelength Locker)及可调式雷射(Tunable Laser)等光学元件中。如图1所示，一法布里-珀罗装置100，系由两平行构件102及104中间间隔多个厚度为d的间隔元件106结合而成。构件102及104的一表面需镀上一层反射膜，以形成相对的平行镜面102A及104A。当入射光以一角度α进入该装置100，会于平行镜面102A及104A构成的空腔内共振，而输出如图2所示的周期性光谱。为使该法布里-珀罗装置微小化，近年来有将微机电(Micro-Electro-Mechanical System；MEMS)工艺应用于制造该类装置的趋势，然而也因此提高构件制造及组装的困难度，因为镜面102A及104A需保持极高的平行度(角度误差需小于10-5度)，且间距d也需有极佳的精度(公差需小于0.5nm本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张绍雄，张起豪，
申请(专利权)人：台达电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：