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一种校准装置(1)，其具有可密封且热隔离的腔室(10)，该腔室包括插口底座(15)，其具有与插口底座(15)热接触的多个参考样本(18)和用于被测器件DUT(17)的多个样本插口(16)，其中，每个样本插口(16)被布置为邻近并且关联于至少...
该专利属于AMS国际有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AMS国际有限公司授权不得商用。

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