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本发明提供一种用于在化学气相沉积反应器中制备多晶硅的方法，其中，在反应器外部的至少一个反应器部件的至少一个位置，使用测量装置测量反应器的振动，并且任选地记录该振动。本发明还提供了一种用于实施该方法的反应器。...
该专利属于瓦克化学股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。

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