下载硅微粒及其制造方法的技术资料

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提供:可有效地防止氧化、具有接近非晶的微晶直径的硅微粒。本发明的硅微粒的特征在于,一次颗粒的平均直径为30~900nm,微晶直径低于10nm,氯浓度处于1~10质量%,氧浓度(C...
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