温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种微机电结构与MEMS麦克风，该微机电结构包括：背板；振动膜，与背板之间具有间隙，并与背板构成可变电容；以及保护层，覆盖背板并与背板接触，其中，背板具有靠近振动膜的第一表面与远离振动膜的第二表面，第一表面和/或第二表面具有至少...
该专利属于无锡韦尔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡韦尔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。