下载阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板的技术资料

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本发明提供了一种阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板。本发明提供的阵列基板的制造方法包括在衬底基板上沉积栅金属层,并通过光刻工艺形成栅极,在栅极上方沉积缓冲层,在缓冲层上形成半导体层,在半导体层上沉积并通过光刻工艺形成蚀刻阻挡层,通过离子...
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