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本发明提供一种基板保持装置及基板处理装置，该基板保持装置使晶片等基板进行圆运动，并且能够一边使基板以其轴心为中心旋转，一边稳定地保持该基板。基板保持装置(10)具备：多个辊(11a、11b)；使多个辊(11a、11b)旋转的多个电动机(29...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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