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高反射镜膜系制造技术
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文档序号:2676807
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高反射镜膜系,包括基体,其特征在于有沉积在基体上的Al层,沉积在Al层上的SiO↓[2]层,沉积在SiO↓[2]层上的TiO↓[2]层。...
该专利属于甘国工所有,仅供学习研究参考,未经过甘国工授权不得商用。
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