下载掩膜版存放装置的技术资料

文档序号:26765087

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请属于掩膜版生产设备技术领域,尤其涉及一种掩膜版存放装置。本申请的掩膜版存放装置,可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度,实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。各夹持组件均能在旋转组件上转动,且通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。