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一种光学三维测量用高精密组合光栅器件，主要包括投影仪标定光栅（２），全白光栅（３），格雷码光栅（４）和相移光栅（５），其特征在于：采用电子束扫描光刻的方法在膨胀率极小的光刻用石英玻璃片（１）上依序刻出１３幅光栅图，第１幅为投影仪标定光栅（２...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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