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光电子材料及器件领域中，用铒离子注入勃姆石方法制备掺铒氧化铝光波导薄膜，特征：采用溶胶－凝胶和离子注入复合工艺原位合成掺铒Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］光波导薄膜，用浸渍提拉法或旋转涂覆法在ＳｉＯ↓［２］／Ｓｉ基片上涂覆γ－ＡｌＯＯＨ干凝胶薄膜，再...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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