下载在片校准件模型中参数确定的方法及终端设备的技术资料

文档序号:26759894

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本发明适用于晶原级半导体器件微波特性测量技术领域,提供了一种在片校准件模型中参数确定的方法及终端设备,该方法包括:通过确定基于太赫兹频段的不同在片校准件模型;测量得到不同校准件的S参数;根据不同校准件的S参数,计算不同校准件的导纳;根据不同...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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