下载用于确定辐射在样品平面中的合成功率的方法和光学布置的技术资料

文档序号:26759148

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本发明涉及一种确定在光学布置的样品平面(8)中的辐射的合成功率的方法。步骤A中,捕获在光学布置的束路径中的光学元件的当前配置。步骤B中,提供辐射且将辐射沿着所述束路径引导到样品平面(8)中。步骤C中,捕获在样品平面(8)中的辐射的功率的至少...
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