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一种电容式碳化硅高温压力传感器及其制备方法，传感器包括若干阵列布置的电容式碳化硅高温压力传感单元，每个电容式碳化硅高温压力传感单元包括衬底，衬底的两侧连接有支柱，衬底的中部连接有多个阵列布置的下电极，下电极和碳化硅薄膜上连接的多个阵列布置的...
该专利属于绍兴精传传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴精传传感科技有限公司授权不得商用。

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