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本发明公开了一种基于多腔FP干涉仪的表面形貌测试装置及测试方法，该装置包括激光器、光纤分束器、光环形器组、光纤、光纤端面阵列、待测反射面及光电探测器，激光器发出的激光经过光纤分束器分成多束光，光束通过光环形器传输到光纤阵列，光束从光纤端面阵...
该专利属于安徽大学所有，仅供学习研究参考，未经过安徽大学授权不得商用。

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