温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种可以用低电压驱动可动板、并可以使可动板的变位量增大的波长可变光滤光器。其解决方法是，在基础层（１６）的上方设固定镜、与该固定镜对向配置的可动镜、驱动该可动镜的驱动板（１３）和支持该驱动板（１３）的外周支持部（１８），通过将电压...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。