波长可变光滤光器制造技术

本发明专利技术提供一种可以用低电压驱动可动板、并可以使可动板的变位量增大的波长可变光滤光器。其解决方法是，在基础层（１６）的上方设固定镜、与该固定镜对向配置的可动镜、驱动该可动镜的驱动板（１３）和支持该驱动板（１３）的外周支持部（１８），通过将电压施加于设在上述驱动板（１３）上的电极和设在上述基础层（１６）上的电极之间，使上述可动镜变位，在可动镜和外周支持部（１８）之间设１个以上的驱动板（１３），驱动板（１３）由静电力而变位。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
波长可变光滤光器，是在基础层的上方设固定镜、与该固定镜对向配置的可动镜、驱动该可动镜的驱动板和保持该驱动板的外周支持部，并通过将电压施加于设在上述驱动板上的电极和设在上述基础层上的电极之间，使上述可动镜变位的波长可变光滤光器，其特征在于，　　在上述可动镜和上述外周支持部间设１个以上的上述驱动板，并通过静电力使上述驱动板变位。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：与田光宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]