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本发明提供一种在对电极和可动基板进行布线时容易进行引线接合的ＭＥＭＳ器件、不损伤该ＭＥＭＳ器件的驱动部分等而进行切割的制造方法、以及装有该ＭＥＭＳ器件的ＭＥＭＳ组件。包括设置电极（２）的第１基材（１）、至少具有可动部（３ａ）和外周支撑部（３...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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