下载双环路二维剪切干涉检测装置的技术资料

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一种双环路二维剪切干涉检测装置,其构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45°置放的第一分光镜、135°置放的第二分光镜及90°置放的第二全反射镜,在第二反射镜的反射光路上设置第一全反射镜,且该第一全反射镜的反射光正好以45°入射第二分...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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