下载硒化锌的生长方法的技术资料

文档序号:26753491

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本公开提供了一种硒化锌的生长方法包含步骤:a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中,氩气置换沉积炉中的空气,抽真空,真空度为3000Pa‑10000Pa;b.将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃‑800℃,将坩埚升温至蒸发温度65...
该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。

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