硒化锌的生长方法技术

本公开提供了一种硒化锌的生长方法包含步骤：a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa‑10000Pa；b.将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃‑800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃‑700℃；c.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50‑150μm/h；d.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃‑170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃‑650℃的范围，进行再次恒温，然后降至室温，得到硒化锌产品。本公开提供的硒化锌的生长方法可以生产大尺寸、加厚尺寸、高光学性能的多晶硒化锌材料。

【技术实现步骤摘要】
硒化锌的生长方法
本公开涉及红外材料领域，具体涉及一种硒化锌的生长方法。
技术介绍
公开号为CN101759161B的中国专利公开了一种高光学质量硒化锌的制备方法，该专利提到硒化锌沉积压力为1×104-5×104Pa，沉积温度为650-800℃，硒化氢的流量为0.5-2L/min，氩气流量为5-20L/min，锌与硒化氢的摩尔比为0.8-1.2。该专利中提到的硒化锌沉积真空度值较大，而压力大会导致硒化锌生长速率过大，产品里面的缺陷增多，包括雾层、雾斑、夹杂、气泡等，同时该专利里面提到硒化氢的流量为0.5-2L/min，锌与硒化氢的摩尔比为0.8-1.2，反应剂通入量较小，对于工业化生产其成本是非常高的。此外，因为在锌的蒸发过程中未增加稀释气体，仅仅靠坩埚中的锌蒸汽进入到沉积室里面与硒化氢混合进行反应，这样会导致锌蒸汽很难在较大的沉积室里面进行充分的扩散，导致产品的尺寸比较小以及厚度不均的问题，无法满足大尺寸硒化锌产品的需求。另外硒化锌沉积的过程中需要保证一定的生长速率，才能生长出大尺寸较厚硒化锌产品。最后硒化锌属于红外材料，产品比较脆，在沉积过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硒化锌的生长方法，其特征在于，包括步骤：/na.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，利用氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa-10000Pa；/nb.对化学气相沉积炉进行升温，将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃-800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃-700℃；/nc.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50-150μm/h；/nd.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃-170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃-650℃的范围，...

【技术特征摘要】
1.一种硒化锌的生长方法，其特征在于，包括步骤：
a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，利用氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa-10000Pa；
b.对化学气相沉积炉进行升温，将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃-800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃-700℃；
c.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50-150μm/h；
d.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃-170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃-650℃的范围，进行再次恒温，然后降至室温，得到硒化锌产品。


2.根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，
在步骤a中，锌的纯度为≥99.999％；和/或
坩埚的材质为等静压石墨。


3.根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，所述硒化锌的沉积速率通过控制通入到坩埚中氩气的流量、坩埚的温度、通入到坩埚中的氩气流量与坩埚中锌蒸气蒸发速率的比例、通入到沉积腔室中的氩气和硒化氢混合气体中的氩气流量、通入到沉积腔室中的氩气流量与硒化氢流量的比例、通入到沉积腔室中的硒化氢与由坩埚进入到沉积室的锌蒸气的流量比例、化学气相沉积炉的真空度来实现。


4.根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，
在...

【专利技术属性】
技术研发人员：于金凤，朱刘，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44