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本发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的反应腔体内压力动态平衡控制系统，包括反应腔体，所述反应腔体底部分别固定安装有进气口、第一压力变送器与出气口，所述出气口的一端固定连接有冷凝阱，通过机械压力表更换为压...
该专利属于常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司授权不得商用。

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