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本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Ｂｒａｇｇ波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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