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本发明公开了一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将氧化钕、氧化铝、氧化铟和氧化锌粉末混合研磨制浆得到混合浆料，用混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；S2、将步骤S1所得的造粒粉依次进行模压和等静压成型得到靶...
该专利属于韶关市欧莱高新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韶关市欧莱高新材料有限公司授权不得商用。

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