下载镀膜设备的技术资料

文档序号:26750998

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本实用新型涉及一种镀膜设备。上述镀膜设备用于给基板镀膜,镀膜设备包括第一中频镀膜室和伸缩件,第一中频镀膜室包括第一中频靶底板和第一靶材,第一中频靶底板设有两个,两个第一中频靶底板错开设置且存在间隔,每一第一中频靶底板设有第一靶材,基板能够从...
该专利属于江西沃格光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西沃格光电股份有限公司授权不得商用。

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