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本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部（３１）和可以位移地支撑可动部的支撑部（３２）的第１基板（３）、具有光透过性并且与第１基板（３）相面对的第２基板（２）、设于可动部和第２基...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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