波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法技术

本发明专利技术提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部（３１）和可以位移地支撑可动部的支撑部（３２）的第１基板（３）、具有光透过性并且与第１基板（３）相面对的第２基板（２）、设于可动部和第２基板之间的第１间隙（２１）及第２间隙（２２）、在可动部和第２基板之间夹隔第２间隙产生干涉的干涉部、通过利用第１间隙使可动部相对于第２基板（２）位移来改变第２间隙的间隔的驱动部（１），其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种波长可变滤波器，具备：　　　　具有光透过性并且具有可动部和可以位移地支撑该可动部的支撑部的第１基板、　　　　具有光透过性并且与所述第１基板相面对的第２基板、　　　　设于所述可动部和所述第２基板之间的第１间隙及第２间隙、　　　　在所述可动部和所述第２基板之间夹隔所述第２间隙而产生干涉的干涉部、　　　　通过利用所述第１间隙使所述可动部相对于所述第２基板位移来改变所述第２间隙的间隔的驱动部，其特征是，所述支撑部的厚度比所述可动部的厚度薄。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村亮介，纸透真一，村田昭浩，与田光宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]