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一个单元（６００）由电子集成电路（６０４）、ＭＥＭＳ装置（６０８）以及有源光学装置（６０２）组成，该有源光学装置与电子集成电路电耦合并位于电子集成电路和ＭＥＭＳ之间。将ＭＥＭＳ装置电耦合到电子集成电路并定位，根据在电子集成电路控制下的ＭＥＭ...
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