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光波导及其制造方法技术
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文档序号:2674330
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本发明提供光波导及其制造方法,能抑制具有石英基板的光波导的双折射。本发明的光波导(10),具有石英基板(11)、设在石英基板(11)上的缓冲层(12)、设在缓冲层(12)上的芯体(13a、13b)、覆盖芯体(13a、13b)设在缓冲层(12...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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