光波导及其制造方法技术

本发明专利技术提供光波导及其制造方法，能抑制具有石英基板的光波导的双折射。本发明专利技术的光波导（１０），具有石英基板（１１）、设在石英基板（１１）上的缓冲层（１２）、设在缓冲层（１２）上的芯体（１３ａ、１３ｂ）、覆盖芯体（１３ａ、１３ｂ）设在缓冲层（１２）上的上部覆盖层（１４）。在本发明专利技术中，大致相等地设置缓冲层（１２）的热膨胀率和上部覆盖层（１４）的热膨胀率，由此施加给芯体（１３ａ、１３ｂ）的应力实际上成为各向同性，所以能够有效地抑制双折射的发生。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别涉及采用石英基板的埋入型。
技术介绍
近年来，广泛利用能达到信息传送的高速化、大容量化的光通信。在用于光通信的光波导中，大致分为光纤维和埋入型光波导，其中，已知埋入型光波导的构成具有硅基板、设在硅基板上的下部覆盖层(包覆层)、设在下部覆盖层上的芯体、及覆盖芯体设在下部覆盖层上的上部覆盖层(参照专利文献1)。但是，具有如上所述的构成的光波导中，由于硅基板的折射率比芯体的折射率大得多，所以必须充分遮断从芯体向硅基板的光泄漏。因此，需要将下部覆盖层的厚度设定得足够厚，例如达到20μm以上，结果存在容易延长制造时间的问题。对此，作为其他埋入型光波导，已知具有石英基板、设在石英基板上的芯体、覆盖芯体设在石英基板上的上部覆盖层的光波导(参照专利文献2)。在具有如此构成的光波导中，由于石英基板的折射率小于芯体的折射率，能够使基板本体具有作为下部覆盖层的功能。因此，不需要形成另外的下部覆盖层，具有能够利用少的工序数量进行制造的优点。但是，已经知道如果直接在石英基板上形成芯体，则存在产生双折射而增大极化波依赖性等多种问题。因此，提出了这样一种方案，在采用石英基板时，通过在石本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导，其特征在于：具有石英基板、设在上述石英基板上的缓冲层、设在上述缓冲层上的至少１个芯体、覆盖上述芯体设在上述缓冲层上的上部覆盖层，上述缓冲层的热膨胀率和上述上部覆盖层的热膨胀率大致相等。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：花岛直树，持田励雄，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]