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一种微型可动元件（Ｘ１），具有在材料基板上一体成形的可动部（１１１）、框架（１１２）、和连接可动部与框架的连接部（１１３），所述材料基板具有由含有中心导体层（１１０ｂ）的多个导体层（１１０ａ～１１０ｃ）和夹在导体层（１１０ａ～１１０ｃ）间的...
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