具有扭杆的微型可动元件制造技术

一种微型可动元件（Ｘ１），具有在材料基板上一体成形的可动部（１１１）、框架（１１２）、和连接可动部与框架的连接部（１１３），所述材料基板具有由含有中心导体层（１１０ｂ）的多个导体层（１１０ａ～１１０ｃ）和夹在导体层（１１０ａ～１１０ｃ）间的绝缘层（１１０ｄ、１１０ｅ）构成的叠层结构。可动部（１１１）包含来源于中心导体层（１１０ｂ）的第一结构体。框架（１１２）包含来源于中心导体层（１１０ｂ）的第二结构体。连接部（１１３）包含多个扭杆（１１３ａ、１１３ｂ），该多个扭杆（１１３ａ、１１３ｂ）来源于中心导体层（１１０ｂ），相对于第一结构体和第二结构体而连续连接，且相互电分离。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有扭杆的微型可动元件。特别是本专利技术是组入到进行多个光纤间的光路的切换的光转换装置及向光盘进行数据的记录、再生处理的光盘装置等的元件，涉及为了通过光反射改变光的行进路线方向而使用的微型反射镜元件。
技术介绍
近年来，光通信技术被广泛用于各个领域。在光通信中，为了以光纤作为介质传送光信号，为了切换光信号的传送路径或由某个光纤向另一光纤切换，一般使用所谓的光转换装置。在达到良好的光通信的基础上，作为光转换装置所要求的特性，可以列举出切换动作中的大容量性、高速性和高可靠性等。根据这些观点，作为光转换装置，对组入由微机械加工技术制作的微型反射镜元件的部件期待很高。这是由于若用微型反射镜元件，则可以在光转换装置的输入侧的光传送路线和输出侧的光传送路线之间不把光信号转换成电信号，而以光信号原样进行转换处理，在得到上述特性的基础上是适合的。微型反射镜元件具有用于反射光的反射镜面，通过该反射镜面的摆动可以改变光的反射方向。为了摆动反射镜面而利用静电力的静电驱动型的微型反射镜元件在多数光学装置中被采用。静电驱动型微型反射镜元件在大的方面可以分为两类，即通过所谓表面微机械加工技术制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型可动元件，其特征在于，具有在材料基板上一体成形的可动部、框架、和连接可动部与框架的连接部，所述材料基板具有由含有中心导体层的多个导体层和夹在导体层间的绝缘层构成的叠层结构，所述可动部包含来源于所述中心导体层的第一结构体， 所述框架包含来源于所述中心导体层的第二结构体，所述连接部包含多个扭杆，该多个扭杆来源于所述中心导体层，相对于所述第一结构体和所述第二结构体而连续连接，且相互电分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：壶井修，水野义博，上田知史，佐胁一平，奥田久雄，山岸文雄，曾根田弘光，高马悟觉，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]