下载用于刻写具有不同中心波长的光栅的平面波导的方法的技术资料

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在单个平面光波线路平台(750)中制造多个布拉格光栅(712、714、716、718、720)。这些光栅具有名义上相等的光栅间距,但是具有不同的中心波长,这些光栅是使用受控的照相平版印刷术工艺和/或受控的掺杂处理而制造出来的,用以控制光栅的...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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