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一种半导体超短脉冲激光器及其制备方法技术
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文档序号:26733204
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本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体超短脉冲激光器及其制备方法,其不同之处在于,包括以下步骤:步骤1:选择一N型衬底;步骤2:在所述衬底上进行半导体双模量子点材料的外延生长;步骤3:采用标准半导体光电子芯片工艺进行激光器的光刻和刻蚀...
该专利属于江苏华兴激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华兴激光科技有限公司授权不得商用。
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