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提供了用于侧壁应变工程的带间隔体的铁电或反铁电沟槽电容器。描述了一种基于铁电的电容器，其通过沿着基于铁电/反铁电的电容器的铁电或反铁电材料的平面（例如，x轴）提供拉伸应力，来改进铁电存储器的可靠性。由包括金属、半金属或氧化物（例如，Al、T...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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