温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种电感结构及其形成方法，包括：基底，所述基底表面具有接地端；位于基底上的屏蔽结构，所述屏蔽结构包括：若干层重叠的屏蔽层，位于最底层的屏蔽层与所述接地端电连接，相邻两层所述屏蔽层相互电连接，每一层所述屏蔽层包括并联线圈组以及包围所述并联线圈...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。