温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种防堵塞型集成电路制作设备，包括连接管和吸嘴，所述连接管竖向设置，所述吸嘴安装在连接管的顶端，所述吸嘴上设有吸孔，所述吸孔与连接管同轴设置且与连接管连通，所述连接管上设有除尘机构和辅助机构，所述除尘机构包括连接杆、密封环、固定管...
该专利属于南京利硕斯机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京利硕斯机电设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。