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本发明提供了一种晶圆转移传输装置及晶圆转移传输方法，属于半导体设备技术领域，其中晶圆转移传输装置包括：移动装置，适于与控制器电连接；吸附手爪，具有吸附孔，吸附孔通过气体通道与真空装置连通；水气分离装置；压力传感器；流速传感器；本发明提供的晶...
该专利属于北京烁科精微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科精微电子装备有限公司授权不得商用。

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