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本发明公开了一种干涉扫描装置，是借由反射器的结构改良，使反射器的各别区域具有彼此相异的光程，让每一瞬间各区域各自获得不同光程的干涉资讯，随后整合各瞬间的资讯，借由计算干涉单元的移动速率，找出特定待测位置在各瞬间的资料，即可模拟对该位置的升降...
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