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本发明涉及无掩膜光学制造技术领域，具体是一种基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置及方法，所述基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置包括：LED阵列，其包括驱动器和发光二极管，多个所述发光二极管阵列形成LED阵列，所述驱动器分别控制每个发光...
该专利属于深圳市先地图像科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市先地图像科技有限公司授权不得商用。

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