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本发明提出一种推挽式扫描光栅,其特征在于,包括,支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器;所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接;所述两个扭...该专利属于中冶赛迪技术研究中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中冶赛迪技术研究中心有限公司授权不得商用。
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本发明提出一种推挽式扫描光栅,其特征在于,包括,支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器;所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接;所述两个扭...