一种推挽式扫描光栅制造技术

本发明专利技术提出一种推挽式扫描光栅，其特征在于，包括，支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器；所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接；所述两个扭转梁的轴线与所述反射光栅侧边的中线重合；所述角度传感器设置于其中一个所述扭转梁与所述支撑框架的连接处；所述电磁推挽驱动器包括驱动线圈和两个驱动电极；通过所述驱动电极输入驱动信号，控制设置于所述反射光栅的中线两侧边的驱动线圈形成流向相反的电流，驱动所述反射光栅扭转；本发明专利技术结构简单，可有效降低功耗，增强扫描光栅的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种推挽式扫描光栅
本专利技术涉及微光机电系统
，尤其涉及一种推挽式扫描光栅。
技术介绍
扫描光栅作为微光机电系统(MOEMS)一种重要的器件之一，已被广泛应用于便携式智能监测、食品安全、化学检测等领域。其基本原理为：通过MEMS工艺加工满足紫外需求的光栅镜面，精确控制光栅旋转的驱动力，结合角度传感器角度反馈，实现精确控制光栅镜面的旋转角度，从而达到精确控制光栅扫描。目前扫描光栅大都采用静电、电热及压电等驱动原理实现驱动。静电驱动只能施加吸引驱动力，因此通常只能做成单极驱动模式。该方案一方面不容易精确驱动力大小实现精确角度控制，另一方面光栅在单极驱动容易产生不稳定状态，也无法快速恢复状态；电热驱动光栅需用电生热再产生驱动力，整个热电驱动响应比较慢，限制了扫描速度。热驱动的方式也会造成比较大的使用功耗，无法满足便携可移动设备的长寿命要求；压电驱动需要使用特殊的压电材料。MOEMS器件中采用特殊材料会加入额外的工艺制程，增加了工艺兼容设计难度，不利于工艺整合，增加了制造成本。电磁式驱动相应速度快、功耗低、驱动力大，是一种理想的驱动方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种推挽式扫描光栅，其特征在于，包括，支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器；/n所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接；所述两个扭转梁的轴线与所述反射光栅侧边的中线重合；所述角度传感器设置于其中一个所述扭转梁与所述支撑框架的连接处；所述电磁推挽驱动器包括驱动线圈和两个驱动电极；通过所述驱动电极输入驱动信号，控制设置于所述反射光栅的中线两侧边的驱动线圈形成流向相反的电流，驱动所述反射光栅扭转。/n

【技术特征摘要】
1.一种推挽式扫描光栅，其特征在于，包括，支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器；
所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接；所述两个扭转梁的轴线与所述反射光栅侧边的中线重合；所述角度传感器设置于其中一个所述扭转梁与所述支撑框架的连接处；所述电磁推挽驱动器包括驱动线圈和两个驱动电极；通过所述驱动电极输入驱动信号，控制设置于所述反射光栅的中线两侧边的驱动线圈形成流向相反的电流，驱动所述反射光栅扭转。


2.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述驱动线圈分别从两个驱动电极引出，并在所述反射光栅侧边的中线的两侧面上分别形成回形线圈；所述光栅侧边的中线两侧分别设置有连接电极，两侧的所述回形线圈通过所述连接电极导通，所述驱动电极和所述驱动线圈通过所述连接电极形成驱动信号回路。


3.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，两侧的所述回形线圈位置沿所述光栅侧边中线对称。


4.根据权利要求2所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，两侧的所述连接电极分别设置于对应反射光栅两侧面的中心位置。


5.根据权利要求3所述的推挽式扫描光栅，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜森林，何文馨，漆锐，冯科，杨玉，
申请(专利权)人：中冶赛迪技术研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50